氯硅烷是一种无色气体化学品，其化学式为SiH3Cl。它易水解，在空气中会发烟，而且对金属在肯定枯燥时适当慵懒，乃至不与金属钠反响。氯硅烷可以终究靠SiCl4与氢气反响，或许SiH4与氯气制得。
氯硅烷具有较强的亲电性和还原性，能与含生动氢的化合物进行剧烈反响，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，并放出氯化氢。此外，它还可以与有机金属化合物反响，其间氯原子被相应的有机基替代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。
吸附法：运用各种吸附剂（如活性炭、分子筛等）对三氯硅烷进行吸附，适用于低浓度、小风量的废气处理。此办法处理效率高、运转成本低，但需求定时替换吸附剂。
催化氧化法：运用催化剂（如铜基、铅基和铁基等）将三氯硅烷转化为无害物质，如二氧化碳和水。此办法能彻底分化有机物，处理效率高，但催化剂或许易受污染或失效，需求定时保护。
冷凝收回法：将废气直接导入冷凝器，或先经吸附吸收后，解分出的浓缩废气再导入冷凝器。冷凝液经别离后可收回有价值的有机物。
直接焚烧法：运用燃气或燃油等辅佐燃料焚烧放出的热量，将混合气体加热到必定温度（700～800℃），使可燃的有害于人体健康的物质进行高温分化变为无害物质。此办法适用于高浓度、小风量的废气管理。
催化焚烧法：在催化剂的效果下，将废气中的有害可燃组分彻底氧化为二氧化碳和水。
湿法水解工艺：将硅烷、氯硅烷尾气经过碱催化水解，再经过多级洗刷吸收未能水解的尾气，以到达环保排放规范。中和碱可以运用烧碱或石灰，产出物可作为产品销售。
鑫蓝环保科技（昆山）有限公司多年来专心于氯硅烷抛弃净化处理规划、制作和装置。咱们产品有RTO蓄热焚烧、RCO蓄热催化焚烧、CO催化焚烧、TO直燃炉、有机废气处理设备、冷凝收回、防爆除尘器、酸碱废气处理、滤筒除尘器、防爆除尘器、单机除尘器、仓顶除尘器、旋风除尘器、洗刷塔、活性炭吸附箱、静电除油设备等。