半导体工业渐渐的变成了全球经济发展的重要推动力。但是，半导体出产的悉数过程中发生的废气排放问题也日益严重，对出产环境、职工和周围居民健康构成了严重威胁。因而，半导体废气处理设备的规划和使用显得很重要。半导体废气处理设备的基本功能是有效地去除废气中的有害于人体健康的物质，削减对环境的污染。这种设备一般包含吸附、催化焚烧、生物滤池等多种处理技能，能够有效地去除废气中的有机物、无机物和微生物等污染物。
首要，吸附技能是半导体废气处理设备中蕞常用的一种。经过活性炭等吸附资料，能够轻松又有效地去除废气中的有机物和部分无机物。这种技能简单易行，但需求定时替换吸附资料，以保持其杰出的吸附作用。其次，催化焚烧技能是一种更为先进的废气处理技能。它经过催化剂的作用，将废气中的有机物彻底氧化为无害的物质，如二氧化碳和水。这种技能的处理功率高，但需求投入很多的动力，因而在实践使用中需求考虑到动力消耗的问题。蕞后，生物滤池技能是一种新式的废气处理技能。它经过微生物的作用，将废气中的有机物分解为无害的物质，如二氧化碳和水。这种技能对环境友好，且运转成本低，但需求定时替换微生物菌种，以保证其杰出的处理作用。